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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 知道薄膜的透过反射怎么求薄膜的折射率啊~~
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与里生

铜虫 (小有名气)

[求助] 知道薄膜的透过反射怎么求薄膜的折射率啊~~ 已有5人参与

知道薄膜的透过反射怎么求薄膜的折射率啊~~因为椭偏测试拟合不准，
  
有没有一种方法可以直接从反射率和折射率求出薄膜的折射率和消光系数的？

好像有帖子说用TFCcalc软件可以，有人知道具体的方法么？
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1楼 2015-07-14 15:18:32
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ChrisWang89

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
垂直入射
消光系数k小的时候，反射率R=(n-1)^2/(n+1)^2，n为折射率，简单地用这个方法计算折射率。
消光系数k大的时候，反射率R=[(n-1)^2+k^2]/[(n+1)^2+k^2]
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6楼2015-07-15 23:34:51
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nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
找本椭偏的书看看，自己编个代码计算计算，不过一般设备带的软件拟合不了的话，自己写程序也是白搭
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solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2015-07-14 22:43:20
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最近刚好看过一些文献，楼主可以参考一下，这些文章给了一些物理模型，然后用origin之类的软件拟合就好了。不过说实话，透射反射光谱拟合光学系数不太准
1.        H.-Y. Joo, H. J. Kim, S. J. Kim and S. Y. Kim, Journal of Vacuum Science & Technology A 17 (3), 862-870 (1999).
2.        S. Y. Kim, Appl. Opt. 35 (34), 6703-6707 (1996).
3.        C. H. Peng and S. B. Desu, Journal of the American Ceramic Society 77 (4), 929-938 (1994).
4.        J. A. Dobrowolski, F. C. Ho and A. Waldorf, Appl. Opt. 22 (20), 3191-3200 (1983).
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3楼2015-07-15 09:49:25
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sgh920

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
使用光度法中包络线进行拟合确定参数，有反射曲线拟合的要准确一些！
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4楼2015-07-15 11:25:49
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