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知道薄膜的透过反射怎么求薄膜的折射率啊~~ 已有5人参与
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知道薄膜的透过反射怎么求薄膜的折射率啊~~因为椭偏测试拟合不准， 有没有一种方法可以直接从反射率和折射率求出薄膜的折射率和消光系数的？ 好像有帖子说用TFCcalc软件可以，有人知道具体的方法么？ |
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jieluosuda
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hbc1234
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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最近刚好看过一些文献，楼主可以参考一下，这些文章给了一些物理模型，然后用origin之类的软件拟合就好了。不过说实话，透射反射光谱拟合光学系数不太准 1. H.-Y. Joo, H. J. Kim, S. J. Kim and S. Y. Kim, Journal of Vacuum Science & Technology A 17 (3), 862-870 (1999). 2. S. Y. Kim, Appl. Opt. 35 (34), 6703-6707 (1996). 3. C. H. Peng and S. B. Desu, Journal of the American Ceramic Society 77 (4), 929-938 (1994). 4. J. A. Dobrowolski, F. C. Ho and A. Waldorf, Appl. Opt. 22 (20), 3191-3200 (1983). |
3楼2015-07-15 09:49:25
4楼2015-07-15 11:25:49
