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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】 Si and sapphire wafer cleaning method
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zhaoxq0819

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【讨论】 Si and sapphire wafer cleaning method

希望大家在此讨论一下Si and sapphire wafer的清洗方法

[ Last edited by caosw2001 on 2008-8-2 at 21:40 ]
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1楼 2008-08-02 10:36:38
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linyj632

金虫 (小有名气)
★
caosw2001(金币+1,VIP+0):谢谢参与
10min actone, 10min methanol 最后10min的IPA sonication
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2楼2008-08-02 11:30:55
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zhaoxq0819

铜虫 (初入文坛)
楼上的说的是Si 还是sapphire? 我觉得好像是sapphire.
因为Si 上有一层SiO2, 要用酸才能除掉吧.
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3楼2008-08-02 13:14:21
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