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laitianmao

金虫 (小有名气)

守夜人

[求助] 硅片上2微米直径圆内可能生成了氢氧化硅,用什么方法确定就是它呢? 已有1人参与

硅片上有液体圆斑,2微米直径圆内可能生成了氢氧化硅。在电镜上可以明显看出这个斑点。打能谱发现,氧和碳元素会比别处高一点点。拉曼的光斑找不到准它,也无法发现明显特征峰。XPS估计也找不到这个圆斑。
       请教高手,用什么方法确定这个斑点的就是氢氧化硅?谢谢!
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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laitianmao: 金币+10, 有帮助, 是这样 2015-07-06 08:18:35
解决你的问题的关键在于分析时,形成小于2微米的光斑。
2楼2015-07-05 20:29:08
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