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CVD包碳使用的碳源气体可否为混合气
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yetiannan
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CVD包碳使用的碳源气体可否为混合气
已有1人参与
求教: 本人想用CVD方法在粉体材料表面包碳,由于实验室的安全问题,现在碳源气体不能选择纯的C2H2,请问能否将C2H2与N2混合使用作为碳源气,如果可行,那么二者的比例该如何选择,有懂的大神们请不吝赐教,谢谢大家!
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无欲则刚
1楼
2015-07-02 20:23:55
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★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
青若: 金币+1, 谢谢回帖,欢迎常来无机物化版交流
2015-07-05 23:09:31
yetiannan: 金币+10
2015-07-17 11:07:06
使用其它气体作为载气是CVD中最常用的方法,通过稀释可以有效控制沉积速率。
至于具体比例,需要自己去调试,一般情况百分之几就可以。
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yetiannan
2楼
2015-07-03 08:14:58
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2楼
:
Originally posted by
jiagle
at 2015-07-03 08:14:58
使用其它气体作为载气是CVD中最常用的方法,通过稀释可以有效控制沉积速率。
至于具体比例,需要自己去调试,一般情况百分之几就可以。
谢谢您的回复!
还想请教下您,乙炔氮气混合气的最低碳化温度一般是多少,因为我的包碳反应体系温度越低越好,麻烦您解答一下,谢谢!
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无欲则刚
3楼
2015-07-03 09:47:40
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3楼
:
Originally posted by
yetiannan
at 2015-07-03 09:47:40
谢谢您的回复!
还想请教下您,乙炔氮气混合气的最低碳化温度一般是多少,因为我的包碳反应体系温度越低越好,麻烦您解答一下,谢谢!...
具体分解温度建议你去查一下人家做碳纳米管的操作温度,大致八九不离十,基本上套用就可以。
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4楼
2015-07-03 10:45:40
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