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实验室地面震动对VSM测试的影响
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星空的呼唤
铁虫
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性别: GG
专业: 新型信息器件
[
求助
]
实验室地面震动对VSM测试的影响
求帮助!!
实验室面积紧张,智能将sputter、IBE、MBE跟VSM放在一间洁净室里了,sputter、IBM、MBE加一块有20多个机械泵、干泵、压缩机24小时工作,这些泵的震动会对VSM测试造成影响吗?
我们给泵做了隔振处理,VSM还没决定要不要放在这里(虽然只能放在这),VSM也可以做隔振处理。
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2015-07-02 09:40:13
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