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568977122

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 急!急!急!NF3主含量的气相色谱分析 选用的是什么类型的色谱柱?谢谢! 已有2人参与

我想问一下有没有朋友做过NF3主含量的检测,选用的是什么类型的色谱柱,我所需检测的是粗的NF3,其他气体有N2、CF4等,请做过的朋友提供一些参考资料?必有重谢!!!
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henulch

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

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568977122: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-29 15:09:07
NF3在常温下应该是气态的。我觉得气体都可以采用TCD检测器来检测。那么你可以选用分子筛柱或者选择分子筛柱和其他柱子的结合形式来完成。现在对于这种特殊气体有一种新型的检测技术,其实也不算是新型。就是氦离子化气相色谱也没用过不知道具体的原理。你可以搜一下了解一下。或者直接打电话咨询一下他们的技术人员
2楼2015-06-29 14:33:45
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568977122

铁杆木虫 (著名写手)

求不沉
VENIVIDIVICI!!!
3楼2015-06-30 11:27:07
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superyeast

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

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568977122: 金币+5, 有帮助 2015-06-30 21:37:01
这类氟化物可能水解出微量HF,对常见硅烷类固定相有腐蚀作用,恐怕不能使用。可以试试聚乙烯类的固定相。

我本人没有做过NF3的分析,只是根据感觉分析的。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-06-30 14:47:26
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