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dsblade新虫 (初入文坛)
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关于CVD用的气体，乙炔甲烷等等分解温度是多少呢？ 已有1人参与
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小弟要做CVD，在管式炉里。 那么问题来了，甲烷、乙炔等等气体的分解温度在哪里查得到呢（或许还有乙醇这样的液体碳源）？ 有没有什么网站可以查这些热力学参数？是书或者文章也行。 新虫还老忘记签到，拿出一半身家求助 |
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 wulishi8在碳材料和其他专业问题的回复 |
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6楼2015-06-24 20:38:54
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