| 查看: 3134 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有206人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
求助有机化学第二版陆阳申东升主编课件或者电子版书籍
+1/82
-
删帖
+2/48
-
青岛大学固态电池研究团队招收材料、化学、物理等方向博士研究生
+2/44
-
大连工业大学 高分子材料 接收考研调剂
+1/40
-
欢迎化学、化工、材料、环境、药学、纳米、能源等专业综合表现优秀的同学加入！-上海
+1/32
-
西京学院土木水利 2026 级研究生招生
+2/30
-
国家双一流高校-国家级青年人才课题组博士招生
+2/26
-
南京林业大学-国家级青年人才团队 招2026级博士、调剂硕士（合成化学方向）
+1/17
-
山西师范大学2026年化学硕士点招收调剂生
+1/14
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/12
-
青岛科技大学0860 调剂招生
+1/11
-
西安工程大学能源化工新材料研发项目组接收2026年计算机类调剂研究生
+1/10
-
中国水产科学研究院黄海水产研究所渔业环境优化与生物修复研究室招聘项目岗2名
+1/10
-
宁夏大学化学化工学院魏逸彬研究员课题组招聘启事
+1/7
-
广东省五邑大学MOFs催化功能材料课题组招收化学/材料背景调剂生
+1/6
-
招生材料与化工、环境科学调剂研究生
+1/5
-
青岛大学学硕调剂！
+1/4
-
天津医科大学基础医学院张恒课题组博士后招聘
+1/3
-
大连工业杰青、长江团队-生物质材料方向招收2026级博士生
+1/3
-
材料与化工 375分 求调剂
+1/3
26楼2017-06-13 20:20:14
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
