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采用NT-MDT仪器的PFM模式测定AlN压电薄膜的压电系数d33，曲线为什么是这个样子的？？
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试样是采用磁控溅射在单抛Si片上生长的约1μm厚的（002）取向AlN压电薄膜，采用NT-MDT仪器的PFM模式测定其压电系数d33，得到的曲线如图(第一张)所示。 1）感觉不太像标准的“蝴蝶曲线”（第二张图LiNbO3，摘自文献Piezoelectric properties of rhombic LiNbO3 nanowires），有大神知道是什么原因造成的吗？还是本来就是这样？其中纵坐标是悬臂梁位移所反映的激光放大信号，应该是对应施加电压后的位移变化情况。 2）该薄膜的压电系数相对较小，大约7-10pm/V，若测量结果没有错误，那么如何将Mag-Bias的关系曲线转变为压电系数d33-bias的关系曲线呢？ 3）还有Δz（压电位移） = d33*VAC（交流电压）*cos(ωt + Ѳ  ，图中横坐标的bias与公式中的电压信号有什么关系吗？急求大神对其中某些问题给予回答，全部更好，有帮助的继续追加悬赏，谢谢。。。 邮箱联系也可以，zbnet001@sina.com  mag-bias.jpg  paper.png |
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