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【求助】BST薄膜总是开裂啊！
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我通过化学溶液沉积法制备BST薄膜： 1：乙酸钡，乙酸锶溶于乙酸——80C加热溶解/120C除水溶解 2：钛酸四正丁酯与乙二醇甲醚和乙酰丙酮混合，搅拌 1+2：80C搅拌1h/120C搅拌30min或50min 后期快速热处理： 200C，120s 350C，180s 700C，250s 已经作了很长时间了，但是始终是薄膜开裂的问题得不到解决，一般匀胶到第四层就会出现裂纹，很多，很细密，像蜘蛛网一样，不知道大家有没有这方面的经验，如何消除这些裂纹啊，谢谢了。 另外，以前尝试加过PVP，但好像没有改善，PVP是最后加，80C加热。 [search]BST 薄膜 开裂[/search] [ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:40 ] |
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kfadn0125
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18楼2008-10-22 11:53:08
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