应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】BST薄膜总是开裂啊！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
52/1返回列表
查看: 1513  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】BST薄膜总是开裂啊！

我通过化学溶液沉积法制备BST薄膜：
1：乙酸钡，乙酸锶溶于乙酸——80C加热溶解/120C除水溶解
2：钛酸四正丁酯与乙二醇甲醚和乙酰丙酮混合，搅拌
1+2：80C搅拌1h/120C搅拌30min或50min
后期快速热处理：
   200C，120s
   350C，180s
   700C，250s
已经作了很长时间了，但是始终是薄膜开裂的问题得不到解决，一般匀胶到第四层就会出现裂纹，很多，很细密，像蜘蛛网一样，不知道大家有没有这方面的经验，如何消除这些裂纹啊，谢谢了。
另外，以前尝试加过PVP，但好像没有改善，PVP是最后加，80C加热。
[search]BST 薄膜 开裂[/search]

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:40 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-07-20 22:37:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)
最近多做了一些实验，发现当增加转速的时候，薄膜的开裂层数并没有被降低，是不是开裂与薄膜的热处理次数也有关系，处理的次数越多，热应力积累越多，于是也就越容易开裂呢？
我一方面想要做的厚一些，1-2micro，一方面还向保证薄膜的介电性能，还挺难的，试验碰了不少钉子
呵呵
赞一下 回复此楼
15楼2008-09-17 21:17:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

zwl927

铁虫 (初入文坛)
哦，对了，补充一下，我的溶胶浓度为0.4mol/L，一般做到400nm左右就会出现裂纹了。

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:19 ]
赞一下 回复此楼
2楼2008-07-21 14:17:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tracynrh

木虫 (小有名气)
我以前有个师妹做BST，Sol-Gel法，好像质量还可以，不过，Sol-Gel法制备的薄膜厚度都不高，就几百nm，一厚就会开裂的。你制备的溶胶的浓度已经挺大了，并且400nm对于这种方法已经算是厚的了。你用旋涂法制备的薄膜，一般单层都比较厚，可以试一下用提拉法做，这种方法制备的薄膜比较均匀，单层厚度不超过100nm。
赞一下 回复此楼
3楼2008-07-22 16:48:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)
嗯，谢谢tracynrh，如果减小浓度的话，应该会增加匀胶的次数。提拉法我们实验室还没有办法做的。
我主要是想把膜做厚些，希望达到1micro，而且不加BST粉。
现在在考虑加PVP，但是PVP在我这个体系里面，如何键合上是让人头疼的问题。试做过几次，裂纹都没有什么改善。
另外，乙酸钡，乙酸锶的结晶水120C可以除掉么，我查了一下，说是它们的结晶水要在150C才能除去。
赞一下 回复此楼
4楼2008-07-23 17:05:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 289求调剂 +11 新时代材料 2026-03-27 11/550 2026-03-28 18:09 by YK。。
[考研] 调剂310 +6 温柔的晚安 2026-03-25 7/350 2026-03-28 16:04 by qq2000
[考研] 0703本科郑州大学求调剂 +3 nhj_ 2026-03-25 3/150 2026-03-28 13:24 by Iveryant
[考研] 数一英一271专硕（085401）求调剂，可跨 +4 前行必有光 2026-03-28 5/250 2026-03-28 11:27 by xuxiang
[考研] 291求调剂 +15 hhhhxn.. 2026-03-23 21/1050 2026-03-28 11:26 by self2008
[考研] 085404求调剂，总分309，本科经历较为丰富 +4 来财aa 2026-03-25 4/200 2026-03-28 07:41 by 棒棒球手
[考研] 求调剂推荐 材料 304 +15 荷包蛋hyj 2026-03-26 15/750 2026-03-28 04:13 by fmesaito
[考研] 0703化学求调剂，各位老师看看我！！！ +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考研] 085600，材料与化工321分，求调剂 +9 大馋小子 2026-03-27 9/450 2026-03-27 14:30 by mmm just
[考研] 调剂推荐 +5 清酒714 2026-03-26 6/300 2026-03-27 11:12 by 不吃魚的貓
[考研] 327求调剂 +7 prayer13 2026-03-23 7/350 2026-03-26 20:48 by 不吃魚的貓
[考研] 309求调剂 +4 gajsj 2026-03-25 5/250 2026-03-26 00:27 by Dyhoer
[考研] 332求调剂 +6 032500 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:45 by 418490947
[考研] 282求调剂 +3 wcq131415 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:16 by userper
[考研] 277分求调剂，跨调材料 +3 考研调剂lxh 2026-03-24 3/150 2026-03-24 13:52 by JourneyLucky
[考研] 材料/农业专业，07/08开头均可，过线就行 +3 呵唔哦豁 2026-03-23 4/200 2026-03-23 22:30 by 汪！？！
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 070300，一志愿北航320求调剂 +3 Jerry0216 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:16 by 。。堂堂
[考研] 求调剂一志愿海大，0703化学学硕304分，有大创项目，四级已过 +6 幸运哩哩 2026-03-22 10/500 2026-03-22 20:10 by edmund7
[考研] 308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-21 3/150 2026-03-22 16:54 by i_cooler
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭