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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zwl927

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】BST薄膜总是开裂啊!

我通过化学溶液沉积法制备BST薄膜:
1:乙酸钡,乙酸锶溶于乙酸——80C加热溶解/120C除水溶解
2:钛酸四正丁酯与乙二醇甲醚和乙酰丙酮混合,搅拌
1+2:80C搅拌1h/120C搅拌30min或50min
后期快速热处理:
   200C,120s
   350C,180s
   700C,250s
已经作了很长时间了,但是始终是薄膜开裂的问题得不到解决,一般匀胶到第四层就会出现裂纹,很多,很细密,像蜘蛛网一样,不知道大家有没有这方面的经验,如何消除这些裂纹啊,谢谢了。
另外,以前尝试加过PVP,但好像没有改善,PVP是最后加,80C加热。
[search]BST 薄膜 开裂[/search]

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:40 ]
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fqf

金虫 (正式写手)

浓度过大,使得单层厚度太大,增加转速,增加时间
14楼2008-09-14 10:31:48
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zwl927

铁虫 (初入文坛)

哦,对了,补充一下,我的溶胶浓度为0.4mol/L,一般做到400nm左右就会出现裂纹了。

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:19 ]
2楼2008-07-21 14:17:10
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tracynrh

木虫 (小有名气)

我以前有个师妹做BST,Sol-Gel法,好像质量还可以,不过,Sol-Gel法制备的薄膜厚度都不高,就几百nm,一厚就会开裂的。你制备的溶胶的浓度已经挺大了,并且400nm对于这种方法已经算是厚的了。你用旋涂法制备的薄膜,一般单层都比较厚,可以试一下用提拉法做,这种方法制备的薄膜比较均匀,单层厚度不超过100nm。
3楼2008-07-22 16:48:46
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zwl927

铁虫 (初入文坛)

嗯,谢谢tracynrh,如果减小浓度的话,应该会增加匀胶的次数。提拉法我们实验室还没有办法做的。
我主要是想把膜做厚些,希望达到1micro,而且不加BST粉。
现在在考虑加PVP,但是PVP在我这个体系里面,如何键合上是让人头疼的问题。试做过几次,裂纹都没有什么改善。
另外,乙酸钡,乙酸锶的结晶水120C可以除掉么,我查了一下,说是它们的结晶水要在150C才能除去。
4楼2008-07-23 17:05:54
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