应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】BST薄膜总是开裂啊！
52/1返回列表
查看: 1695  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】BST薄膜总是开裂啊！

我通过化学溶液沉积法制备BST薄膜：
1：乙酸钡，乙酸锶溶于乙酸——80C加热溶解/120C除水溶解
2：钛酸四正丁酯与乙二醇甲醚和乙酰丙酮混合，搅拌
1+2：80C搅拌1h/120C搅拌30min或50min
后期快速热处理：
   200C，120s
   350C，180s
   700C，250s
已经作了很长时间了，但是始终是薄膜开裂的问题得不到解决，一般匀胶到第四层就会出现裂纹，很多，很细密，像蜘蛛网一样，不知道大家有没有这方面的经验，如何消除这些裂纹啊，谢谢了。
另外，以前尝试加过PVP，但好像没有改善，PVP是最后加，80C加热。
[search]BST 薄膜 开裂[/search]

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:40 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-07-20 22:37:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)
Pt/Ti/SiO2/Si基底和Al2O3，都用
Ba：Sr=0.65：0.35
主要关心它的介电常数，希望提高
另外就是要做的比较厚
赞一下 回复此楼
11楼2008-09-08 10:58:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

zwl927

铁虫 (初入文坛)
哦，对了，补充一下，我的溶胶浓度为0.4mol/L，一般做到400nm左右就会出现裂纹了。

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:19 ]
赞一下 回复此楼
2楼2008-07-21 14:17:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tracynrh

木虫 (小有名气)
我以前有个师妹做BST，Sol-Gel法，好像质量还可以，不过，Sol-Gel法制备的薄膜厚度都不高，就几百nm，一厚就会开裂的。你制备的溶胶的浓度已经挺大了，并且400nm对于这种方法已经算是厚的了。你用旋涂法制备的薄膜，一般单层都比较厚，可以试一下用提拉法做，这种方法制备的薄膜比较均匀，单层厚度不超过100nm。
赞一下 回复此楼
3楼2008-07-22 16:48:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwl927

铁虫 (初入文坛)
嗯，谢谢tracynrh，如果减小浓度的话，应该会增加匀胶的次数。提拉法我们实验室还没有办法做的。
我主要是想把膜做厚些，希望达到1micro，而且不加BST粉。
现在在考虑加PVP，但是PVP在我这个体系里面，如何键合上是让人头疼的问题。试做过几次，裂纹都没有什么改善。
另外，乙酸钡，乙酸锶的结晶水120C可以除掉么，我查了一下，说是它们的结晶水要在150C才能除去。
赞一下 回复此楼
4楼2008-07-23 17:05:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥？ +8 要乐观耀哥 2026-08-10 23/1150 2026-08-13 00:35 by 要乐观耀哥
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +10 Tide man 2026-08-11 10/500 2026-08-12 20:59 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] filecode +13 documentary 2026-08-10 15/750 2026-08-12 15:56 by 云上清扬
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 什么时候出结果，有咨询渠道？？？ +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 13/650 2026-08-11 09:49 by 家与远方
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭