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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】BST薄膜总是开裂啊！
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zwl927

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】BST薄膜总是开裂啊！

我通过化学溶液沉积法制备BST薄膜：
1：乙酸钡，乙酸锶溶于乙酸——80C加热溶解/120C除水溶解
2：钛酸四正丁酯与乙二醇甲醚和乙酰丙酮混合，搅拌
1+2：80C搅拌1h/120C搅拌30min或50min
后期快速热处理：
   200C，120s
   350C，180s
   700C，250s
已经作了很长时间了，但是始终是薄膜开裂的问题得不到解决，一般匀胶到第四层就会出现裂纹，很多，很细密，像蜘蛛网一样，不知道大家有没有这方面的经验，如何消除这些裂纹啊，谢谢了。
另外，以前尝试加过PVP，但好像没有改善，PVP是最后加，80C加热。
[search]BST 薄膜 开裂[/search]

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:40 ]
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1楼 2008-07-20 22:37:19
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zwl927

铁虫 (初入文坛)
Pt/Ti/SiO2/Si基底和Al2O3，都用
Ba：Sr=0.65：0.35
主要关心它的介电常数，希望提高
另外就是要做的比较厚
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11楼2008-09-08 10:58:13
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zwl927

铁虫 (初入文坛)
哦，对了，补充一下，我的溶胶浓度为0.4mol/L，一般做到400nm左右就会出现裂纹了。

[ Last edited by zwl927 on 2008-7-21 at 14:19 ]
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2楼2008-07-21 14:17:10
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tracynrh

木虫 (小有名气)
我以前有个师妹做BST，Sol-Gel法，好像质量还可以，不过，Sol-Gel法制备的薄膜厚度都不高，就几百nm，一厚就会开裂的。你制备的溶胶的浓度已经挺大了，并且400nm对于这种方法已经算是厚的了。你用旋涂法制备的薄膜，一般单层都比较厚，可以试一下用提拉法做，这种方法制备的薄膜比较均匀，单层厚度不超过100nm。
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3楼2008-07-22 16:48:46
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zwl927

铁虫 (初入文坛)
嗯，谢谢tracynrh，如果减小浓度的话，应该会增加匀胶的次数。提拉法我们实验室还没有办法做的。
我主要是想把膜做厚些，希望达到1micro，而且不加BST粉。
现在在考虑加PVP，但是PVP在我这个体系里面，如何键合上是让人头疼的问题。试做过几次，裂纹都没有什么改善。
另外，乙酸钡，乙酸锶的结晶水120C可以除掉么，我查了一下，说是它们的结晶水要在150C才能除去。
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4楼2008-07-23 17:05:54
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