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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于GISG薄膜ZnO/AZO层的制备
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hanohalo

金虫 (小有名气)

[求助] 关于GISG薄膜ZnO/AZO层的制备 已有2人参与

大家好，我读研是做这个电池的，结果找文献，发现就吸收层的制备工艺，完全找不到ZnO/AZO层是怎么做的，就知道用磁控做，但是，参数什么的完全目头绪，大家是怎么做的啊，望指导一下，谢谢了
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1楼 2015-05-27 15:21:34
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hanohalo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-05-30 16:41:18
ZnO靶材，RF-sputter，ZnO薄膜，50nm，薄膜方阻>80Ω，溅射气氛：氩气+氧气，氧气流量是氩气流量的10分之一，具体可调；电阻很大就好，气压1~10*10^-3 torr
AZO靶材，DC-sputter，AZO薄膜,  250~900nm，薄膜方阻 ...

这个功率密度一般是选择多少比较好啊
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6楼2015-05-31 20:54:24
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-05-27 21:50:26
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电池有多大，你们自己有镀膜设备，没有的话，我可以帮你镀下
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用绳命来搞科研
3楼2015-05-28 11:55:36
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hanohalo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-05-28 11:55:36
电池有多大，你们自己有镀膜设备，没有的话，我可以帮你镀下

我们要自己做，但是不清楚工艺
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4楼2015-05-28 13:37:00
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