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hanohalo

金虫 (小有名气)

[求助] 关于GISG薄膜ZnO/AZO层的制备 已有2人参与

大家好,我读研是做这个电池的,结果找文献,发现就吸收层的制备工艺,完全找不到ZnO/AZO层是怎么做的,就知道用磁控做,但是,参数什么的完全目头绪,大家是怎么做的啊,望指导一下,谢谢了
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hanohalo

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-05-30 16:41:18
ZnO靶材,RF-sputter,ZnO薄膜,50nm,薄膜方阻>80Ω,溅射气氛:氩气+氧气,氧气流量是氩气流量的10分之一,具体可调;电阻很大就好,气压1~10*10^-3 torr
AZO靶材,DC-sputter,AZO薄膜,  250~900nm,薄膜方阻 ...

这个功率密度一般是选择多少比较好啊
6楼2015-05-31 20:54:24
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2015-05-27 21:50:26
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
电池有多大,你们自己有镀膜设备,没有的话,我可以帮你镀下
用绳命来搞科研
3楼2015-05-28 11:55:36
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hanohalo

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-05-28 11:55:36
电池有多大,你们自己有镀膜设备,没有的话,我可以帮你镀下

我们要自己做,但是不清楚工艺
4楼2015-05-28 13:37:00
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