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木虫 (著名写手)

[交流] 讨论：外延薄膜的XRD测试问题

我们实验室有台HRXRD,普通的RC和三轴晶测量没有问题，此外还有薄膜配件。我想知道的是如何实现外延膜的测量，不是小角度衍射，而是衬底和外延之间的失陪度等测量。如何选择测量模式？大家讨论一下，该如何去做。谢谢

1楼 2008-07-19 13:22:55

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铁虫 (小有名气)

你们实验室仪器是什么型号，我以前用过bede d1 ，肯定要用三轴晶模式，以生长衬底表面的晶面为参考面，进行omega-2theta扫描就是了

4楼2008-08-20 08:28:56

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木虫 (正式写手)

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SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流，欢迎常来

失配度指什么？衬底晶格一般应该已知的。你想测外延薄膜的晶格常数，转到相应的面上做theta-2theta就行了，当然要得到更具体的结构信息，就必须做mapping了

2楼2008-07-20 02:03:34

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金虫 (小有名气)

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SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流，欢迎常来

楼主的意思是要测垂直方向的应变吧？按照楼上的做联动就可以了。
要确定晶格常数，首先要确定外延层的驰豫状态，如果能确定是完全驰豫或没有驰豫，测量相对简单；
若是部分驰豫，需要先测定驰豫度。

3楼2008-07-24 16:48:57

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