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letianhan

木虫 (著名写手)

[交流] 讨论:外延薄膜的XRD测试问题

我们实验室有台HRXRD,普通的RC和三轴晶测量没有问题,此外还有薄膜配件。我想知道的是如何实现外延膜的测量,不是小角度衍射,而是衬底和外延之间的失陪度等测量。如何选择测量模式?大家讨论一下,该如何去做。谢谢
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xql508

铁虫 (小有名气)

你们实验室仪器是什么型号,我以前用过bede d1 ,肯定要用三轴晶模式,以生长衬底表面的晶面为参考面,进行omega-2theta扫描就是了
4楼2008-08-20 08:28:56
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miloyy

木虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,欢迎常来
失配度指什么?衬底晶格一般应该已知的。你想测外延薄膜的晶格常数,转到相应的面上做theta-2theta就行了,当然要得到更具体的结构信息,就必须做mapping了
2楼2008-07-20 02:03:34
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sunnyzhao9

金虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,欢迎常来
楼主的意思是要测垂直方向的应变吧?按照楼上的做联动就可以了。
要确定晶格常数,首先要确定外延层的驰豫状态,如果能确定是完全驰豫或没有驰豫,测量相对简单;
若是部分驰豫,需要先测定驰豫度。
3楼2008-07-24 16:48:57
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