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直拉单晶硅棒反型了,求高手指点其中原因? 已有1人参与
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| 我们厂从还原炉出来的多晶硅破碎后,直拉N型单晶后,发现单晶棒,头部出现P型,尾部出现N型,还有就是断面处,中心呈N型,外表面呈P型,跪求高手说明这其中反型的原因,小弟感激不尽!! |
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4楼2019-11-11 13:31:51
迪欧石英仪器
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2楼2015-05-27 18:47:55
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