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hondgen铜虫 (初入文坛)
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[求助]
标准CMOS工艺各个区的掺杂浓度分别是多少
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| 在标准N阱CMOS工艺中衬底、阱区，n有源区、p有源区的掺杂浓度分别是多少？不同制程的会有不同吗，比如0.13um和0.35um的大概是多少？想知道NMOS和PMOS的漏、栅、源及衬底的掺杂浓度。该在哪里查，在pdk里面没有看到。谢谢！ |
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