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yuan19920

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2014-06-01
专业: 金属基复合材料

[求助] 扩散阻挡层镀铜后方阻高达3欧姆

通过四探针测试扩散阻挡层镀铜样品的方阻发现方阻高达3欧姆，而正常的情况应该在MΩ量级上。

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1楼 2015-05-20 08:00:13

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时光

铁杆木虫 (知名作家)

应助: 0 (幼儿园)
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散金: 1905
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帖子: 5539
在线: 760.7小时
虫号: 1329359
注册: 2011-06-23
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

请问你是把扩散阻挡层镀在硅片上直接测得电阻吗

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是金子总要发光

2楼2016-05-04 09:16:28

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