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木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】真空溅射制作薄膜，表面出现裂痕是什么原因？

用真空溅射方法制作TiN薄膜，温度是70度，得到的试件表面会有一些细线状的裂痕，而且会扩展，这个问题该如何解决？

[ Last edited by suntht on 2008-7-16 at 16:00 ]

1楼 2008-07-16 11:06:16

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木虫 (小有名气)

谢谢楼上，现在初步认为是Ar流量过高造成的。
另外，在安装基底的时候，如果螺丝拧得太紧，会不会产生残余应力，从而导致应裂情况呢？

3楼2008-07-22 08:53:40

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铜虫 (初入文坛)

★ ★
caosw2001(金币+2,VIP+0):谢谢应助

出现应裂情况是膜与基地附着力的问题。
关键注意清洗的工序，尽量确保衬底无污染。
调节参数，包括电流，Ar流量，工作气压。
详细原因分析可多参考文献和书籍。

2楼2008-07-21 09:36:21

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