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【求助】真空溅射制作薄膜，表面出现裂痕是什么原因？
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用真空溅射方法制作TiN薄膜，温度是70度，得到的试件表面会有一些细线状的裂痕，而且会扩展，这个问题该如何解决？ [ Last edited by suntht on 2008-7-16 at 16:00 ] |
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