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alpha.yang

木虫 (正式写手)

[求助] 求教:PLD 镀金,不出辉光 已有1人参与

PLD溅射金膜最近出了一些问题:
1. 最近打的时候,往往刚开始是有辉光的,打了不到二百个脉冲辉光消失了,并且激光光斑比较暗。激光能量在打的过程中没变,换其他靶看到的光斑亮度是正常的,辉光也很强。
2. 把金靶卸下来之后,在表面打的痕迹上用砂纸打磨一下,又可以打十几秒辉光,之后现象同1。
3. 金靶打完发烫严重,其他靶基本上没有此现象。
使用的金靶以前用起来都是正常的,最近出现此问题不知是否金靶内部的金纯度低造成的。氧气和氩气都试过了,现象相同。
求诸大神指教,谢谢~
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fw_xiao

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

还有你的接地情况怎么样?金靶怎么绑定的 ? (金靶打完发烫严重)可能就是绝缘了,
学习
3楼2015-05-18 09:31:25
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fw_xiao

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1.测一下 极板间的电阻看看正常不?
2.测金靶表面的电阻,按说金不会出现靶中毒现象
学习
2楼2015-05-18 09:23:54
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