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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 利用AZ P4620光刻胶进行光刻时，片子曝光后起皮原因是什么？
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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)

[交流] 利用AZ P4620光刻胶进行光刻时，片子曝光后起皮原因是什么？

利用AZ P4620做实验的时候，经过前烘之后的片子一经过曝光就起皮，不知道原因是什么，请求各位大神指导！
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总会遇到对的人
1楼2015-05-11 10:22:00
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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zipperzinc at 2015-05-19 13:48:09
我还想请教你，AZ P4620胶涂胶后，基版表面有从基版中间发散的线条，像车轮毂一样...

有多方面的原因，可能是转速太快造成的，还有就是清洗不干净，还有就是光刻胶过期的原因，如果光刻胶比较正常，一般式转速太快。
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总会遇到对的人
4楼2015-06-03 10:49:40
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猪猪爱吃奶糖

金虫 (小有名气)
有人会吗？能不能帮忙解答一下
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总会遇到对的人
2楼2015-05-13 11:57:12
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zipperzinc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by 猪猪爱吃奶糖 at 2015-05-13 11:57:12
有人会吗？能不能帮忙解答一下

我还想请教你，AZ P4620胶涂胶后，基版表面有从基版中间发散的线条，像车轮毂一样
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赠人玫瑰，手留余香
3楼2015-05-19 13:48:09
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罗塔尔

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
转速 前后烘各多少？
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5楼2015-06-05 12:46:38
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