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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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szl林

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控抽气慢

磁控比以前抽气慢该怎么办
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

先检漏呗!漏气率高时,可以在怀疑漏气的地方用针头打打乙醚或酒精,若打后气压明显升高就是该处漏气。漏气率很低时通常使用氦气检漏仪。
此外也可能是泵组的问题。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2015-05-08 16:19:42
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

应该是真空室用久了 污染严重 建议清洗

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-05-08 18:24:21
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