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纳米晶Si粉氮化总是出现一些杂相(如Si2N2O),该如何改进?求大神支招
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surui1993
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]
纳米晶Si粉氮化总是出现一些杂相(如Si2N2O),该如何改进?求大神支招
已有1人参与
如图所示,希望大家指导一下我如何控制工艺条件控制一下这种情况?
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1楼
2015-05-04 15:12:30
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感谢参与,应助指数 +1
青若: 金币+2, 谢谢回帖,欢迎常来无机物化版交流~
2015-05-05 20:11:24
surui1993: 金币+5,
★★★
很有帮助
2015-05-06 15:25:17
显而易见,这是由于两种可能导致的:
1、原料本身就已被氧化,相当比例已转化为硅氧化物,原料不纯,以固体进入产物中;
2、氮化过程中气氛中含有氧气或密封性不好。
相对来说,我更偏向前一原因。
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2015-05-05 09:18:35
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2楼
:
Originally posted by
jiagle
at 2015-05-05 09:18:35
显而易见,这是由于两种可能导致的:
1、原料本身就已被氧化,相当比例已转化为硅氧化物,原料不纯,以固体进入产物中;
2、氮化过程中气氛中含有氧气或密封性不好。
相对来说,我更偏向前一原因。
您好,我的硅粉做过XRD分析,但是看不出明显的硅氧化物的峰,是不是不到XRD可以察觉的程度就已经可以单质氮化硅出现这么大面积的杂峰?
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3楼
2015-05-06 15:27:08
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fatewu: 金币+1, 谢谢回帖,欢迎常来无机物化版交流~
2015-05-06 21:46:04
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
surui1993
at 2015-05-06 15:27:08
您好,我的硅粉做过XRD分析,但是看不出明显的硅氧化物的峰,是不是不到XRD可以察觉的程度就已经可以单质氮化硅出现这么大面积的杂峰?...
XRD看不到峰也有可能形成无定型SiO2,所以不能做为依据。
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4楼
2015-05-06 20:47:48
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4楼
:
Originally posted by
jiagle
at 2015-05-06 20:47:48
XRD看不到峰也有可能形成无定型SiO2,所以不能做为依据。...
这样啊 我做元素分析应该能观察氧化情况,谢谢了
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5楼
2015-05-07 10:28:01
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