| 查看: 245 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
freeman3铁虫 (小有名气)
|
[交流]
急问-请教薄膜方面专家
|
||
|
急问-请教薄膜方面专家 最近想做一些物理法渡膜的工作，但是对有些基本的问题还不是太懂，在这里请教一下。 对于目前常用的镀膜方法，比如 electron-beam deposition, ion-beam depositon（Ar+）, radio-frequency 磁控溅射，这三个方法比起来，是不是在精确度方面e-beam>ion-beam>磁控溅射？ 此外，film的质量呢？比如多孔性，疏松性，结晶性质等，是否有什么区别？ 我现在用的是Ar离子辅助的 ion-beam deposition，所以更想知道这个方法得到的膜的一些特征（target为SiO2，设备为Gatan 682 precise etching and deposition system）。 非常感谢大家！ |
回复此楼» 猜你喜欢
211本科材料化工求调剂
已经有4人回复
-
272分材料子求调剂
已经有43人回复
-
270求调剂
已经有7人回复
-
271求调剂
已经有13人回复
-
283求调剂 086004考英二数二
已经有16人回复
-
085410 273分调剂
已经有4人回复
-
一志愿厦大0856，306求调剂
已经有3人回复
-
304求调剂（085602，过四级，一志愿985）
已经有28人回复
-
调剂
已经有4人回复
-
070300化学279求调剂
已经有19人回复
freeman3
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 99
- 散金: 75
- 帖子: 130
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 339932
- 注册: 2007-04-07
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
3楼2008-07-08 17:54:46
2楼2008-07-08 17:45:19
