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ymxianghao

木虫 (小有名气)

[交流] XRD测应力的问题,急!请高手赐教!

用XRD测薄膜应力的时候,怎样确定测定的试样晶面啊?也就是说用哪个晶面进行应力分析?
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山穷水路疑无路,柳暗花明又一村。
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nini_chen

银虫 (小有名气)

呵呵,一般薄膜都属于外延,不清楚你指的什么?我主要做真空镀膜
8楼2008-07-08 20:47:59
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查看全部 18 个回答

fleshman

★ ★
NJUT_tiger(金币+2,VIP+0):鼓励新人热心人。。。
XRD测宏观应力主要是通过测量某一个晶面(hkl)的晶面间距的变化来反应内应力的大小。晶面间距d的测量精度取决于Sinθ的误差,显然在接近90度的高角区附近d的测量误差最小,因此我建议你选取XRD衍射谱中靠近90度且衍射峰强度较高的对应的晶面来测量应力。
另外我有一个关于XRD测量宏观应力的课件,希望对你有用,需要的话我可以用邮箱传给你。
2楼2008-07-07 22:01:50
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ymxianghao

木虫 (小有名气)

非常感谢哈!
我的邮箱是ymxianghao@126.com
再次感谢一下!
山穷水路疑无路,柳暗花明又一村。
3楼2008-07-08 13:43:13
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ranon

金虫 (正式写手)

学习了。给我也传一份怎么样。多谢。hap_fun@yahoo.com
引用回帖:
Originally posted by fleshman at 2008-7-7 22:01:
XRD测宏观应力主要是通过测量某一个晶面(hkl)的晶面间距的变化来反应内应力的大小。晶面间距d的测量精度取决于Sinθ的误差,显然在接近90度的高角区附近d的测量误差最小,因此我建议你选取XRD衍射谱中靠近90度且 ...

4楼2008-07-08 15:07:35
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