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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » XRD测应力的问题，急！请高手赐教！
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ymxianghao

木虫 (小有名气)

[交流] XRD测应力的问题，急！请高手赐教！

用XRD测薄膜应力的时候，怎样确定测定的试样晶面啊？也就是说用哪个晶面进行应力分析？
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山穷水路疑无路，柳暗花明又一村。
1楼 2008-07-07 15:56:50
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nini_chen

银虫 (小有名气)
呵呵，一般薄膜都属于外延，不清楚你指的什么？我主要做真空镀膜
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8楼2008-07-08 20:47:59
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fleshman

★ ★
NJUT_tiger(金币+2,VIP+0):鼓励新人热心人。。。
XRD测宏观应力主要是通过测量某一个晶面（hkl）的晶面间距的变化来反应内应力的大小。晶面间距d的测量精度取决于Sinθ的误差，显然在接近90度的高角区附近d的测量误差最小，因此我建议你选取XRD衍射谱中靠近90度且衍射峰强度较高的对应的晶面来测量应力。
另外我有一个关于XRD测量宏观应力的课件，希望对你有用，需要的话我可以用邮箱传给你。
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2楼2008-07-07 22:01:50
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ymxianghao

木虫 (小有名气)
非常感谢哈！
我的邮箱是ymxianghao@126.com。
再次感谢一下！
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山穷水路疑无路，柳暗花明又一村。
3楼2008-07-08 13:43:13
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ranon

金虫 (正式写手)
学习了。给我也传一份怎么样。多谢。hap_fun@yahoo.com
引用回帖:
Originally posted by fleshman at 2008-7-7 22:01:
XRD测宏观应力主要是通过测量某一个晶面（hkl）的晶面间距的变化来反应内应力的大小。晶面间距d的测量精度取决于Sinθ的误差，显然在接近90度的高角区附近d的测量误差最小，因此我建议你选取XRD衍射谱中靠近90度且 ...

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4楼2008-07-08 15:07:35
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