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请问一般刻蚀AT石英晶体用什么刻蚀剂和饱和氟化氢铵的配置？
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看了很多文献，刻蚀AT石英用的不外乎：HF、BOE、NH4HF2 求刻蚀过的大神，提供一些HF、NH4F配比和刻蚀条件、刻蚀速率的信息。 还有解答一些饱和氟化氢铵的配制（只能用NH4HF2固体配制么？） |
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