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毛荣荣

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请问一般刻蚀AT石英晶体用什么刻蚀剂和饱和氟化氢铵的配置？

看了很多文献，刻蚀AT石英用的不外乎：HF、BOE、NH4HF2
求刻蚀过的大神，提供一些HF、NH4F配比和刻蚀条件、刻蚀速率的信息。
还有解答一些饱和氟化氢铵的配制（只能用NH4HF2固体配制么？）
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1楼2015-04-16 21:13:52
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