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CVD系统漏气速率在什么范围内是允许的？
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实验室的CVD漏气，抽到机械泵抽到0.1pa后，以每分钟1pa速率漏气，请问各位虫友，这种现象正常么，影响单晶材料的生长么？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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