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ztfly

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体光电子器件

[交流] CVD系统漏气速率在什么范围内是允许的？

实验室的CVD漏气，抽到机械泵抽到0.1pa后，以每分钟1pa速率漏气，请问各位虫友，这种现象正常么，影响单晶材料的生长么？

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1楼 2015-04-15 23:06:52

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