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【求助】能否提供一下MOCVD半导体薄膜生长方面的书籍~谢谢
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rt 一般薄膜方面听说清华田民涛的薄膜材料和生长不错，似乎只能做工具书---太厚了。还有国外的M.Ohring 的薄膜材料科学也很系统。（以上两本还真不知道哪本更好些） 但是就MOCVD而言，个人还没有发现具有针对性的书籍，谁能推荐一下，或者提供相应的电子版？相信很多人都想用~ 谢谢了 |
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