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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » SOI片测量不出方块电阻
汕头大学海洋科学接受调剂
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雪落雪落雪落

新虫 (初入文坛)

[求助] SOI片测量不出方块电阻 已有1人参与

全新的SOI片，顶层硅200纳米。3号液清洗29分钟，HF漂洗2分钟，用四探针无法测出方块电阻，一直显什么示电压为0。不知道原因。求解答
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1楼 2015-03-31 14:55:40
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅是半导体，基底是绝缘体，四探针测不出来，很正常呢（我是外行，不太懂你的研究啊）
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2楼2015-03-31 15:28:23
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