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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 氮化钛靶材
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liangziguangxue

金虫 (小有名气)

[求助] 氮化钛靶材 已有5人参与

请问氮化钛靶材的耐热性和延展性，最好有相关文献，有详细的介绍，谢谢！
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1楼 2015-03-26 22:19:20
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个真的不好找，因为一般不用氮化钛靶材镀氮化钛薄膜。一般采用纯钛靶在氮气气氛下进行反应溅射镀氮化钛薄膜。
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2楼2015-03-27 20:16:08
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

氮化钛应该是属于陶瓷靶了吧，陶瓷靶的话，延展性肯定是不好的，耐热性不太了解。
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用绳命来搞科研
3楼2015-03-30 09:42:09
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-03-31 15:55:17
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

Schumki组好像做过一系列的工作
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麦麦爸爸爱小牛
5楼2015-03-31 17:31:19
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

陶瓷靶材延展性都不好，建议用钛靶材通氮气的方法来镀膜~
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6楼2015-04-08 17:19:39
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by huihui2eat at 2015-04-08 17:19:39
陶瓷靶材延展性都不好，建议用钛靶材通氮气的方法来镀膜~

可是我最后只需要考虑膜的机械性能，结合力等性能，不包括其延展性，请问下，这两者镀膜方式除了延展性，还有什么区别吗
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7楼2015-04-19 00:00:01
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-03-27 20:16:08
这个真的不好找，因为一般不用氮化钛靶材镀氮化钛薄膜。一般采用纯钛靶在氮气气氛下进行反应溅射镀氮化钛薄膜。

为什么不直接用氮化钛的靶材直接镀膜呢？因为价格，镀的膜不好控制？
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8楼2015-04-19 00:01:20
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xiejf at 2015-03-31 17:31:19
Schumki组好像做过一系列的工作

请问，能提高下能找到Schumki相关文献的方法吗？我检索，并没有相关搜索结果，麻烦了，谢谢
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9楼2015-04-19 00:04:08
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
8楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-04-19 00:01:20
为什么不直接用氮化钛的靶材直接镀膜呢？因为价格，镀的膜不好控制？...

靶材的制作难度、成本以及使用中的容易因温度分布不均匀的炸裂。
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10楼2015-04-19 07:49:41
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