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【求助】纳米硅实验中遇到的问题
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本人用热丝CVD制备的纳米硅薄膜从腔室中拿出来后颜色会随着时间增加不断发生 变化，越来越接近金黄色，而且测试不同点的拉曼谱会有差异。 各位有经验的同行帮忙分析一下是啥原因引起的啊？？ [ Last edited by ddx-k on 2008-12-14 at 19:51 ] |
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