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请教溅射和脉冲激光沉积的异同
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| 请教高人 关于溅射 和脉冲激光沉积的相同和不同之处。thank you! |
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flbwlx
铁杆木虫 (职业作家)
单身家族之“大总管”
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
区别
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溅射和脉冲激光都属于物理沉积薄膜，对于溅射来说没有衬底温度沉积的速率较快，而脉冲激光沉积速率慢，有很多优点，因为有衬底温度所以薄膜质量较好，具体的一句话两句话也说不清楚，你留给E_Mail，有空我发点资料给你，因为我就是弄脉冲激光的，我们是研究所，很多老师又弄溅射，我所以了解一些。 我的是flbwlx@163.com |
2楼2008-06-26 00:14:24