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金虫 (正式写手)

[求助] 磷扩散

磷扩散形成PN结时，对扩散炉的真空度有要求吗？通入气体后的扩散炉内压强有多大？

事事我已抗争，成败不必在我。

1楼 2015-03-24 16:45:17

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铁杆木虫 (著名写手)

★ ★ ★
mabo2008: 金币+3, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-03-25 08:42:34

充氮气，一般就是一个大气压吧

你看那个人好奇怪，像条狗。。。。

2楼2015-03-24 17:51:46

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新虫 (初入文坛)

你好我最近想做硅片上磷扩散形成pn结能请教下具体的操作吗

3楼2017-03-28 21:10:17

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