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a359429802新虫 (小有名气)
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关于原子层沉积基板上羟基的问题 已有1人参与
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我看文献里进行ALD时，在前驱体进入反应室之前，基板上有一层羟基（如图）与之发生反应，请问基板上的羟基是怎么得到的，如果要沉积的粉末上面不存在羟基该如何处理呢，比如说一些金属氧化物材料锰酸锂钴酸锂之类的基板？ Al2O3薄膜的原子层沉积过程.png |
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