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请高手解答 Silvaco Atlas 三维器件模拟问题!
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我想模拟一个三维半导体器件的电学特性。 首先,我想在atlas模块中,直接用语句建立结构,但是发现网格必须建立在器件内部,而atlas中的mesh语句只能定义长方体,所以我就放弃了这个方法。 然后,我想先在DevEdit3d模块中画出器件结构,并且存为.str文件,然后在atlas模块中调用这个结构。我的语句是这样的: go atlas init inf=XXX.str 但是它提示我“不能将3d的str文件导入2d的atlas中”,但是我记得atlas不是既能模拟二维器件也能模拟三维器件吗? 请软件高手赐教,如何解决这个问题,或者我应该用哪个模块模拟? |
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