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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 求助！关于截面厚度及EDS测试出现气泡的问题？
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yuan19920

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助！关于截面厚度及EDS测试出现气泡的问题？ 已有2人参与

为什么在玻璃基体上镀的ZnO膜在测试EDS时电子束测试哪里，哪里就出现圆泡？还有为什么相同的试样在SEM的不同倍数下截面厚度差了将近一倍？

求助！关于截面厚度及EDS测试出现气泡的问题？
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1楼 2015-03-18 10:29:37
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yuan19920

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-18 10:35:10
氢氧化物吧，或者可能含水化物，电子束打上去会升温的。你确定你照的是同一个位置么，这俩图显然是不一样厚度的，不是倍数问题

位置不是同一位置但是是同一样品不明白为什么这么大差距。氢氧化物怎么形成的啊，有什么办法去除吗。
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3楼2015-03-18 10:37:43
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
氢氧化物吧，或者可能含水化物，电子束打上去会升温的。你确定你照的是同一个位置么，这俩图显然是不一样厚度的，不是倍数问题
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2楼2015-03-18 10:35:10
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan19920 at 2015-03-18 10:37:43
位置不是同一位置但是是同一样品不明白为什么这么大差距。氢氧化物怎么形成的啊，有什么办法去除吗。...

很正常。。厚度不均匀而已，你沿着边缘整个看一遍，同一个倍数，你最好现场看着他给你做，否则你这样回来就是有可能有这种疑问，对你样品没有全局认识的。ZnO这种东西要是水环境合成的话很容易一部分水解啥的嗯，退火应该可以改善，或者喷金保护一下
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4楼2015-03-18 10:40:33
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yuan19920

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-18 10:40:33
很正常。。厚度不均匀而已，你沿着边缘整个看一遍，同一个倍数，你最好现场看着他给你做，否则你这样回来就是有可能有这种疑问，对你样品没有全局认识的。ZnO这种东西要是水环境合成的话很容易一部分水解啥的嗯，退 ...

你好，制备方法是射频磁控溅射，厚度再怎么说都不能差这么多吧一个1um一个1.9um
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5楼2015-03-18 10:44:20
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