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spiderman504

金虫 (小有名气)

[求助] 有谁知道用ICP怎么刻蚀蓝宝石得到深宽比较好的方槽 已有1人参与

如题,要求深度1微米左右,怎么掩膜?ICP各个参数怎么设置?
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由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼主应该去查查文献
2楼2015-03-20 11:48:51
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spiderman504

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-20 11:48:51
楼主应该去查查文献

查了不少,还是得自己摸索,只能参考,毕竟仪器有差别。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
3楼2015-03-20 15:43:54
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-03-20 15:43:54
查了不少,还是得自己摸索,只能参考,毕竟仪器有差别。...

是的,只能参考。所以来这问意义不大

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-03-20 21:19:16
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千里一飘

银虫 (初入文坛)

你好,请问一下哪里可以做ICP,我现在研究耐等离子刻蚀陶瓷,需要做这方面的实验,请大神指条明路,谢谢!
唯大英雄真本事,是真名士自风流!
5楼2016-03-23 16:22:11
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