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freeman3

铁虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】SiO2 薄膜的性质

各位好，我最近做实验接触到一些SiO2膜的问题，搞不清楚。希望大家能够帮忙。。。

我发现两种基体，第一种是Si片上面热氧化生成SiO2 层，第二种是Si片上面利用离子束溅射的方法镀一层SiO2 层，实验中我发现这两种SiO2 层对实验结果的影响方面存在截然不同的结果，一个很好，一个很坏，这应该归功于两种SiO2性质的不同。但是我不知道他们具体有什么差别（比如在密度，多孔性，疏松性质等方面），查文献没有找到非常权威的。不知道从事薄膜相关研究的朋友们能否提供一些帮助呢？非常感谢。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-19 at 23:59 ]

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