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logo1990

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀Ag发黄,镀Mo发黑!!!困扰啊!! 已有4人参与

大神们,现有两个问题亟待解决,还请大家能够指教啊!
1.BK7基地上金属直流溅射镀银,为什么镀出来的银不再白亮,而呈黄色?(之前很容易镀得白色镜面的样品)。 靶材辉光呈蓝色,与以前相同。会不会是腔体漏了?
2.另外镀Mo的时候为什么溅射镀出来的颜色呈暗灰色与靶材的灰白色不一样,是否是因为膜厚的原因,请大神们指教啊!!
3.在Ag上镀一层10nm左右的Mo(情况一切正常),为什么样品整体会发黄?
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swallowzyx

木虫 (正式写手)

博士 创业者

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
logo1990: 金币+5 2015-07-24 14:45:43
可能的原因:金属膜层被部分氧化
技术原因:
1. 工艺气体(Ar)的纯度;
2.腔体是否漏气;
3.Target表面是否被氧化,有没有经过预溅射?
供参考!
博士 创业者
4楼2015-03-11 08:53:23
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查看全部 8 个回答

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
logo1990: 金币+5 2015-07-24 14:45:32
建议:做紫外-可见光光谱分析,薄膜光学反射率测试(UV-Vis),研究规律
漏气固然会影响的,你最好测试一下,哪里漏气了
2楼2015-03-04 21:01:17
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中大崔老师

捐助贵宾 (初入文坛)

副教授


【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
logo1990: 金币+5 2015-07-24 14:45:26
磁控溅射漏气可能性大,银层氧化了。
3楼2015-03-05 17:06:23
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jsczlwl

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

Mo上能能直接镀银?你确定

[ 发自小木虫客户端 ]
若我离去,后会无期!
5楼2015-03-11 09:33:43
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