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信随风木虫 (初入文坛)
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[求助]
用化学气相沉积生长材料的时候一般如何检测漏率leakage?
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如何定义CVD生长材料时的漏率呢？以下哪种比较合适？还是有气体定义？ （1）是应该在最初抽成高真空的情况下，停掉机械泵检测 mTorr/min？ （2）还是应该在生长的条件下，比如在500°C，100Torr情况下停掉机械泵检测mTorr/min呢（一般生长时机械泵不会停）？ |
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