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信随风

木虫 (初入文坛)

[求助] 用化学气相沉积生长材料的时候一般如何检测漏率leakage?

如何定义CVD生长材料时的漏率呢？以下哪种比较合适？还是有气体定义？
（1）是应该在最初抽成高真空的情况下，停掉机械泵检测 mTorr/min？
（2）还是应该在生长的条件下，比如在500°C，100Torr情况下停掉机械泵检测mTorr/min呢（一般生长时机械泵不会停）？
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1楼 2015-03-04 15:55:47
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