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379357471

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by dwaynecheung at 2015-02-25 00:44:07
非常感谢。样品并没有腐蚀,避免影响样品,只是经过抛光处理,理论上来讲用BSE是可以看到的,因为两相的原子序数不同。但不知怎么看不到,而且在SE模式下的分辨率也不好,看tin ball可以放大到一百万倍。我觉得是样 ...

我建议你轻腐蚀下,然后看比较好。还有BSE模式是正对原子序数轻重明显的物相,前提是这些物相裸露在基体外面,假如被基体覆盖了,且原子序数相差不大,效果可能就不太好。
11楼2015-02-25 07:27:26
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379357471

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by dwaynecheung at 2015-02-25 00:44:07
非常感谢。样品并没有腐蚀,避免影响样品,只是经过抛光处理,理论上来讲用BSE是可以看到的,因为两相的原子序数不同。但不知怎么看不到,而且在SE模式下的分辨率也不好,看tin ball可以放大到一百万倍。我觉得是样 ...

块状样而言,只要粘牢了,对电镜几乎没有危害,我做多N多年电镜,没有发现这一条危害,仅理论上存在危害。一做磁性样品,很多人认为有危害,这是一个错误的看法,需要更正。我到认为是磁性影响象散,测试人员不太乐意调象散,所以找一条理由拒绝而已。

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12楼2015-02-25 07:31:57
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nwpu_ranger

木虫 (正式写手)

铁血川军团

【答案】应助回帖

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7楼: Originally posted by dwaynecheung at 2015-02-25 00:51:53
非常感谢,我也想试一试这个。请问为什么退磁之后才能用BSE模式看到相呢?是磁场对BSE模式有影响吗?...

bingo
回答正确,这个跟电镜自身结构有关系

[ 发自小木虫客户端 ]
没有过人的天赋,唯有超人的勤奋
13楼2015-02-25 08:25:46
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by r123ed at 2015-02-25 06:35:05
我也觉得你胆子好大啊,磁性东西怎么能随便拿进去看呢?
如果低倍时效果不好,就不要再进一步高倍了吧。。。。
磁场和电场都会对电荷产生影响的,这个道理你可以看看质谱方面的书籍
不管是SE还是BSE,都是电子成 ...

非常感谢,我做之前也是觉得要退磁,但我问了实验室的人说影响不大,我也就没有退磁。
14楼2015-02-25 08:53:08
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

引用回帖:
11楼: Originally posted by 379357471 at 2015-02-25 07:27:26
我建议你轻腐蚀下,然后看比较好。还有BSE模式是正对原子序数轻重明显的物相,前提是这些物相裸露在基体外面,假如被基体覆盖了,且原子序数相差不大,效果可能就不太好。...

非常感谢你的建议,轻腐蚀是个很好的方法,但是由于后面要做slice and view,做出三维图像,这样就行不通了。我计算了一下两相的对比,在10%左右,差距不大,不知怎么解决比较好。
15楼2015-02-25 08:57:05
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
12楼: Originally posted by 379357471 at 2015-02-25 07:31:57
块状样而言,只要粘牢了,对电镜几乎没有危害,我做多N多年电镜,没有发现这一条危害,仅理论上存在危害。一做磁性样品,很多人认为有危害,这是一个错误的看法,需要更正。我到认为是磁性影响象散,测试人员不太乐 ...

非常感谢你的回复,仪器是自己老师在管,也是自己在操作,请问这个象散要怎样调呢?仪器是FEI Helios 660,我照电镜只调了focus, stigmator, contrast, brightness和不同的探头,ETD,LTD,ICE都试过,效果不好。
16楼2015-02-25 09:09:58
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by dwaynecheung at 2015-02-25 09:09:58
非常感谢你的回复,仪器是自己老师在管,也是自己在操作,请问这个象散要怎样调呢?仪器是FEI Helios 660,我照电镜只调了focus, stigmator, contrast, brightness和不同的探头,ETD,LTD,ICE都试过,效果不好。...

这东西只在一部分范围内补偿有效,分辨率下降也是非常多的,建议先考虑退磁,另外你做过在多年没事。。也是侥幸而已,我看到出事的都不止一两起了,分辨率会逐步下降的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
17楼2015-02-25 10:09:43
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

引用回帖:
17楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-02-25 10:09:43
这东西只在一部分范围内补偿有效,分辨率下降也是非常多的,建议先考虑退磁,另外你做过在多年没事。。也是侥幸而已,我看到出事的都不止一两起了,分辨率会逐步下降的
...

好的,非常感谢,我和老师说说。
18楼2015-02-25 12:18:54
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
18楼: Originally posted by dwaynecheung at 2015-02-25 12:18:54
好的,非常感谢,我和老师说说。...

而且话说Helios FIB这么贵的仪器。。还是小心点的好。。而且这个仪器主要还是做离子束刻蚀啥的,SEM的分辨率还有性能优化还是比较一般的,属于纳米加工仪器,我们一般都是别的sem看的没问题要做东西才会上FIB的。。
19楼2015-02-25 12:27:17
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

引用回帖:
19楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-02-25 12:27:17
而且话说Helios FIB这么贵的仪器。。还是小心点的好。。而且这个仪器主要还是做离子束刻蚀啥的,SEM的分辨率还有性能优化还是比较一般的,属于纳米加工仪器,我们一般都是别的sem看的没问题要做东西才会上FIB的。。...

谢谢,这个仪器分辨率还是挺好的吧,我练习的时看锡球可以到100万倍。我以后也要培训FIB,做slice and view,现在先用SEM看相。我排除了我能想到的情况,也有可能是两个相的对比不够大,算了一下为10%左右,不容易看出来。对应分辨率,我觉得只剩下磁场的原因了,样品电荷积累也比较严重。
20楼2015-02-25 12:58:04
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