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dwaynecheung

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[求助] 用SEM的BSE看磁钢spinodal phases的问题已有3人参与

大家好，最近在用SEM(新设备)看磁钢的phase(样品为块体，经过磁化热处理和抛光)。发现分辨率特别不好，也看不到Fe-Co相和Al-Ni相。
用SE只能看到一些表面的杂质，用BSE也看不到相。我尝试将电压加到最大和适当倾斜样品以增大BSE的系数；镀金增加导电性也没有带来明显的改善。
我现在怀疑样品的磁场对电子束有影响，导致分辨率不好，但是即使是也不会导致BSE看不见相吧？请大家来讨论讨论。谢谢啦！

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1楼 2015-02-21 00:09:10

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dwaynecheung

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引用回帖:

19楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-02-25 12:27:17
而且话说Helios FIB这么贵的仪器。。还是小心点的好。。而且这个仪器主要还是做离子束刻蚀啥的，SEM的分辨率还有性能优化还是比较一般的，属于纳米加工仪器，我们一般都是别的sem看的没问题要做东西才会上FIB的。。...

谢谢，这个仪器分辨率还是挺好的吧，我练习的时看锡球可以到100万倍。我以后也要培训FIB，做slice and view，现在先用SEM看相。我排除了我能想到的情况，也有可能是两个相的对比不够大，算了一下为10%左右，不容易看出来。对应分辨率，我觉得只剩下磁场的原因了，样品电荷积累也比较严重。