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银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何清洗氢氟酸腐蚀后的碳化硅浆料

本人用氢氟酸腐蚀碳化硅表面的二氧化硅，由于碳化硅粉只有1um左右大小，使得后期的清洗特别困难，哪位大虾有什么好的方法提供不，小弟不胜感激！

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-12 at 12:16 ]

1楼 2008-06-12 10:09:25

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银虫 (小有名气)

可以试试直接过滤，用蒸馏水多冲洗几次。

3楼2008-06-13 08:30:06

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铁杆木虫 (小有名气)

试试超声洗嘛，到时再过滤干燥，不知行否。

2楼2008-06-12 12:25:26

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银虫 (小有名气)

谢谢，但是过滤好慢的，有什么又好又快的方法不咯？

4楼2008-06-13 19:05:57

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