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gp601

木虫 (正式写手)

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[交流] 【请教】请问场发射环境扫描电子显微镜的原理？

与发射扫描电子显微镜有什么区别？还有能介绍本书看下吗？谢谢

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-12 at 12:17 ]

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天行健，君子以自强不息！

1楼 2008-06-12 09:07:21

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temedx

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★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):谢谢热心帮助，欢迎常来

环境扫描，顾名思义，也就是可以在接近正常环境的情况下观察形貌，也就是说，真空可以比较差，这个是FEI公司的一个专利名称，你可以找FEI的网站看一下他们的产品介绍。
环境扫描可以在样品表面存在水滴的情况下观察图像，是各大公司低真空系列产品中比较优秀的一种，但是毕竟低真空对于电子束的稳定性有影响，所以，在环境扫描模式下，其分辨率比起高真空模式要差，不过环扫也有高真空模式，可以互相切换。

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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.

2楼2008-06-12 10:27:38

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zhangliflying

木虫 (著名写手)

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场发射，高分辨率

★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):謝謝熱心幫助^_^

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