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小海孩银虫 (小有名气)
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[求助]
AlN薄膜
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请教各位大神，为什么通过磁控溅射方法使用AlN靶材制备AlN薄膜的时候，制备的薄膜中Al的含量占到了70%，而N的含量只有百分之十几，请问下这是什么原因，并且有什么解决的办法吗？非常感激 OLLTUZ%E8SB4AN91N]8T[Z7.png |
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 薄膜制备与特性 |
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