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小海孩

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[求助] AlN薄膜

请教各位大神，为什么通过磁控溅射方法使用AlN靶材制备AlN薄膜的时候，制备的薄膜中Al的含量占到了70%，而N的含量只有百分之十几，请问下这是什么原因，并且有什么解决的办法吗？非常感激

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薄膜制备与特性

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科研

1楼 2015-02-04 11:02:09

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