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小海孩

银虫 (小有名气)

[求助] AlN薄膜

请教各位大神,为什么通过磁控溅射方法使用AlN靶材制备AlN薄膜的时候,制备的薄膜中Al的含量占到了70%,而N的含量只有百分之十几,请问下这是什么原因,并且有什么解决的办法吗?非常感激

AlN薄膜
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薄膜制备与特性

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