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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】怎样制备薄膜的SEM断面形貌
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axlyjia

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】怎样制备薄膜的SEM断面形貌

在0.2mm厚得衬底上镀上多层金属膜

想通过SEM去观察它的断面形貌

可是找不到一个合适的方法去制备镜像试样

各位做薄膜材料的虫子，能给什么建议吗

[ Last edited by SHY31 on 2008-6-9 at 00:47 ]
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落花有意逐流水，流水无心恋落花
1楼 2008-06-09 00:11:31
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kyb0916

新虫 (初入文坛)
★
FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢积极交流
如果薄膜镀在单面抛光的硅片上，直接弄断就可以做SEM了，我们一直是这么做得，只要多层膜的周期不是很小，效果还不错。
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7楼2008-08-05 12:20:31
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mmsong1987

金虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
直接弄断 拿去观察  
我们看侧面都是这样的 很简单  
难道还有什么讲究？
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2楼2008-06-10 22:16:38
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重庆森林639

木虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,鼓励新虫
你最好把那一面磨平如果能抛光就更好了。这样的断面照出来的照片会更好点。如果你薄膜的成分和基体原子系数相差大的话。可以采用背散射。这样层次感就更强。
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3楼2008-07-24 16:23:22
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ehshg

木虫 (小有名气)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
掰段后直接看
也可镶嵌或者用试样夹夹住后磨制抛光
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4楼2008-07-26 11:25:09
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