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axlyjia

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】怎样制备薄膜的SEM断面形貌

在0.2mm厚得衬底上镀上多层金属膜

想通过SEM去观察它的断面形貌

可是找不到一个合适的方法去制备镜像试样

各位做薄膜材料的虫子,能给什么建议吗

[ Last edited by SHY31 on 2008-6-9 at 00:47 ]
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qiqifyc

木虫 (小有名气)

选择适当粘接剂,将另一块平的衬底材料和先前制备的膜表面粘在一起,然后镶样,把截面磨平抛光。
可以防止在磨平试样时由于镶样材料与衬底材料硬度不同,造成的界面处(也就是所关注的膜所处的地方)出现斜坡等。
11楼2008-08-14 12:44:06
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mmsong1987

金虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
直接弄断 拿去观察  
我们看侧面都是这样的 很简单  
难道还有什么讲究?
2楼2008-06-10 22:16:38
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重庆森林639

木虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,鼓励新虫
你最好把那一面磨平如果能抛光就更好了。这样的断面照出来的照片会更好点。如果你薄膜的成分和基体原子系数相差大的话。可以采用背散射。这样层次感就更强。
3楼2008-07-24 16:23:22
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ehshg

木虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
掰段后直接看
也可镶嵌或者用试样夹夹住后磨制抛光
4楼2008-07-26 11:25:09
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