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MEMS元件制造过程中出现严重误差
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| 我用有限元软件设计了一个完全对称的MEMS元件，可以保证在设计过程中完全无错误，也是完全可以实现的。但是在制造过程中，元件上面部分与设计完全相同，但是本该对称的下半部不知道为什么出现了较大偏差。也已经检查过机器，也是完全没有问题的。想跟大家讨论一下，还有什么可能的问题导致出现这种情况？ |
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