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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] Al光栅 电化学腐蚀 已有1人参与

大家好!请问有通过湿法腐蚀,特别是电化学方法做Al光栅的吗?请问应该怎样做得到的光栅好些?

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

光栅的线宽是多大啊?
1um以下的全部都不用考虑,肯定不好。
Al光栅都是干刻的啊。
2楼2015-02-05 13:37:30
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